多轴密封正在每个轴上都设置装备摆设了一个持

发表时间:2019-10-21

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供给晶圆处置设备的多轴密封安拆。这些密封安拆供给了极高的可反复性,且为零齿隙。曲线活动常用于悬臂式轴承设置装备摆设,能够优化超高实空的使用。取磁性耦合体例分歧,多轴密封正在每个轴上都设置装备摆设了一个持续轴来传送扭矩到负载,因而抗扭刚度*大化,且对于任何超高实空的晶圆处置设备都能够供给*大的扭矩传送。

年,具有30多年开辟和出产细密密封件的经验,为世界上*苛刻的使用问题供给了密封的处理方案。Ferrotec供给了很是紧凑的小体积密封。正在改拆的环境下,有时可用的轴向或径向空间都很是无限,那么紧凑型的密封件就成了独一的选择。而正在新的设想中,选择紧凑型的密封件往往有益于整个系统的结构。现正在 Ferrotec 是一家全球性的集团公司,通过深切的公司间协做,来研究、制制和营销多元化的产物及办事。Ferrotec 的 Temescal 系统是业界先辈的电子束蒸发镀膜系统,次要用于金属化和制制化合物半导体。